產(chǎn)品描述
邁博瑞CMPro-P系列濾芯由折疊的多層漸變聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。該系列是化學(xué)機械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）液大顆粒和膠體去除的理想選擇，尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾。可有效去除slurry中的團聚顆粒和膠體雜質(zhì)。此外，CMPro-P濾芯采用的寬幅深層折疊設(shè)計大幅度提高了過濾面積和納污容量，使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。
產(chǎn)品特點
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寬幅深層折疊使其具備超低的壓損和更長的使用壽命
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較大的過濾面積，結(jié)合漸變的錐形孔結(jié)構(gòu)，使剪切力最小化
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漸變孔徑實現(xiàn)分級過濾，攔截大顆粒并放行有效研磨顆粒
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在潔凈車間生產(chǎn)、測試和包裝，確保產(chǎn)品潔凈度
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采用熱熔焊接技術(shù)，確保無污染
工作特性
| 材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
| 外殼/中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | 三元乙丙橡膠，氟橡膠 | |
| 精 度 | 0.1μm, 0.2μm, 0.5μm, 1.0μm, 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm | |
| 尺寸規(guī)格 | 外徑 | 68mm |
| 長度 | 5-40inch | |
| 最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F) |
| 最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
| 最高使用溫度 | 80 ?C (176 ?F) | |
流量-壓差曲線
＊測試條件: 20℃，水的粘度為1cP